东莞某半导体设备集成ic生产我们，晶圆工艺时中出现含硅、氟的特别的废液，来设计处置整体规模1200吨/日。废液材质非常复杂，有效纳米级级硅顆粒及氢氧化钠，经典处置方案难于及格。 污废水 部分及原因 主要是危害物 ：橡胶胶体部分硅（100-500nm颗粒直径）、氟正离子（200-300mg/L）、异丙醇 來源工艺 ：晶圆刻蚀废污水（45%）、CMP生物学自动化的设备打蜡 废污水（40%）、的设备冲刷水（15%） 加工处理艺具体步骤 多元化通过"化工沉积+特种作业膜分割"高技术路线规划： 钙盐沉淀物 ：添加氯化钙消除氟阴阳离子（绘制CaF2积淀） 斜板沉淀池反响 ：组合斜板沉淀池剂建立电解质溶液硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm粒径膜挤占微细小粒 反融于系統 ：脱盐率>98%，回收公司率75% 化掉结晶体 ：浓水段实现了氟化物零尾气排放 终于结果 氟化物质量浓度：<8mg/L（少于国家地区五级标准单位10mg/L） 硅含氧量：<5mg/L 水市场循环率：70%适用于待凉水塔补充水分 危险废物减轻：化掉杂质量较传统式加工制作工艺 避免60%